ALD-Anlage
Projektbeschreibung
Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Dünnschichtabscheidung eine Plasma-gestützte Atomlagenabscheidungsanlage (kurz: PE-ALD, engl. Plasma enhanced atomic layer deposition) aus, welche zum Abscheiden von Dünnschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchipformat (5 x 5 mm²) bis mindestens 150 mm Wafer eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind reproduzierbare Abscheideprozesse verschiedener leitfähiger, halbleitender und dielektrischer Schichten. Diese sollen auch ohne Vakuumunterbrechung (Multilagen) prozessiert werden. Ein Steuer-PC mit Monitor, Tastatur, Maus, entsprechender Software-Lizenzen und aktuellem Betriebssystem (Win 11) ist mitzuliefern.
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1 LosDas Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Dünnschichtabscheidung eine Plasma-gestützte Atomlagenabscheidungsanlage (kurz: PE-ALD, engl. Plasma enhanced atomic layer deposition) aus, welche zum Abscheiden von Dünnschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchipformat (5 x 5 mm²) bis mindestens 150 mm Wafer eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind reproduzierbare Abscheideprozesse verschiedener leitfähiger, halbleitender und dielektrischer Schichten. Diese sollen auch ohne Vakuumunterbrechung (Multilagen) prozessiert werden. Ein Steuer-PC mit Monitor, Tastatur, Maus, entsprechender Software-Lizenzen und aktuellem Betriebssystem (Win 11) ist mitzuliefern.
KI-Analyse
KI-gestützte Dokumentenanalyse
Lassen Sie die KI die Vergabeunterlagen analysieren und strukturierte Informationen zu Fristen, Anforderungen und Bewertungskriterien extrahieren.
Vergabeunterlagen
4_Besondere Vertragsbedingungen Lieferungen.pdf
PDF • 41.7 KB
7.2_Erläuterungen zur Eigenerklärung zum ThürVgG ab 01.01.2024.pdf
PDF • 163.3 KB
5_Eigenerklärung_01.26.O.00.pdf
PDF • 218.1 KB
6_Eigenerklärung Sanktionen EU_01.26.O.00.pdf
PDF • 253.9 KB
7.1_Eigenerklärung zum ThürVgG_01.26.O.00.pdf
PDF • 1.3 MB
8.1_Eigenerklärung zu Daten zum Wirtschaftlich Berechtigten.docx
DOCX • 14.2 KB
8.2_weitere Angaben zum Bieter_Eigenerklärung.docx
DOCX • 34.9 KB
2.2_Leistungsbeschreibung_Preisblatt_01.26.O.00.pdf
PDF • 102.1 KB
3_Angebotsschreiben_01.26.O.00.pdf
PDF • 161.4 KB
2.3_Bewertungsmatrix_01.26.O.00.xlsx
XLSX • 130.5 KB
2.1_Leistungsbeschreibung_01.26.O.00.pdf
PDF • 427.0 KB
2.1_Leistungsbeschreibung_01.26.O.00.pdf
PDF • 427.0 KB
1_Angebotsaufford_01.26.O.00.pdf
PDF • 2.1 MB
OCDS Standard Konform Technische Kapazität
- ISO 27001 ZertifizierungPFLICHT
Nachweis eines zertifizierten ISMS für den gesamten Projektzeitraum.
Nachweis erforderlich - Projektteam (Deutsch C1)PFLICHT
Sämtliche Kernmitglieder müssen Deutschkenntnisse auf C1-Niveau nachweisen.
Wirtschaftliche Eignung
- Referenzen (Öffentlicher Sektor)BEWERTET
Mindestens drei vergleichbare Projekte in Bundes- oder Landesbehörden in den letzten 5 Jahren.
Gewichtung: 40%