Precise local milling & polishing System with 3D capability and thickness meas (IMWS-07.1) - PR820544-2690-P

1 Stück Precise local milling & polishing System with 3D capability and thickness meas Das Fraunhofer-Institut für Mikrostruktur von Werkstoffen und Systemen IMWS erforscht das Einsatzverhalten, die Zuverlässigkeit, Sicherheit und Lebensdauer innovativer Materialien in Bauteilen und Systemen. Das Geschäftsfeld "Elektronische Werkstoffe und Bauteile" des Fraunhofer IMWS unterstützt Industrie- und Forschungspartner durch seine international anerkannte Expertise in der Fehleranalyse elektronischer Bauteile. Das Fraunhofer IMWS wird seine Fähigkeiten zur fortschrittlichen Fehleranalyse und Materialcharakterisierung ausbauen, um die Markteinführung neuer heterogener Integrationstechnologien zu unterstützen, die sich den Herausforderungen der Fertigung und Zuverlässigkeit stellen. Um ein präzises mechanisches Präparationsverfahren zu ermöglichen, wird ein spezielles Entpackungswerkzeug vorgeschlagen. Bei dem System sollte es sich um eine präzisionsgeschliffene 5-Achsen-CNC-Maschine für die mechanische Präparation von mikroelektronischen Bauteilen handeln. Das CNC-System sollte als orthogonales XYZ-System aufgebaut sein, wobei die zu präparierende Probe in XY-Orientierung fixiert ist und zwei zusätzliche Kippmechanismen für die X- und Y-Achse vorhanden sind. Um die Restdicke des gefrästen Substrats (z.B. Silizium) abzuschätzen, wird ein zweites Werkzeug zur Messung durch das Substrat benötigt. Dies kann auf optischem Wege geschehen. Da Silizium nur im sichtbaren Spektrum bei einer Dicke von weniger als 1µm transparent ist, ist ein optisches Dickenmessgerät im Wellenlängenbereich des Infrarots und im sichtbaren Bereich erforderlich. Optionen: 1.1.7. Optional: ein zusätzlicher Probenhalter sollte angeboten werden Optional: pneumatischer oder elektrischer Werkzeugwechsler für den schnellen und werkzeuglosen Wechsel von Fräs- oder Polierwerkzeugen 1.5.2. optional: zusätzliche Kameras zur Live-Überwachung des Fräsvorgangs 1.8.1. "Für die Absaugung von Staub und Partikeln beim Trockenfräsen sollte ein Staubabsaugsystem angeboten werden. Es muss mit einem HEPA-Filtersystem mindestens der Klasse H13 ausgestattet sein. Das System sollte mit 230V / 50Hz betrieben werden." 1.12.2. Der Anbieter bietet optional eine Erstanwenderschulung (virtuell oder vor Ort) für die Bedienung der Fräs- und Messwerkzeuge und seiner Software an. 1.12.3. Der Anbieter bietet optional einen Satz von Werkzeugen und Verbrauchsmaterialien für die Erstinbetriebnahme des Gerätes an, um eine vollständige Probenbearbeitung zu ermöglichen.