System for High Apect Ratio Etch consisting of mainframe and process chambers (IPMS-CNT05.1) - PR1153448-2480-P
Projektbeschreibung
System for High Apect Ratio Etch consisting of mainframe and process chambers (IPMS-CNT05.1)
Lose
1 Los1 Stück System for High Apect Ratio Etch consisting of mainframe and process chambers (IPMS-CNT05.1) Die Spezifikation beschreibt die Anforderungen an ein vollautomatisches Prozessgerät, das für Plasmaätzprozesse auf Wafern mit einem Durchmesser von 300 mm eingesetzt werden soll. Die Systeme werden für die Bearbeitung von Silizium-CMOS-Wafern in einer Produktionsumgebung der Reinraumklasse 1000 (entspricht in etwa Klasse 6 nach EN ISO 14644-1) eingesetzt. Das neue Werkzeug soll zur Strukturierung von Strukturen mit hohem Aspektverhältnis in Silizium sowie in allen damit verbundenen erforderlichen Materialien (z. B. SiO₂, SiN) eingesetzt werden, um dieses Hauptziel zu erreichen. Optionale Positionen gemäß Technical Tender Specification.
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Vergabeunterlagen
Fragebogen zur Eignungspruefung.pdf
PDF • 7.1 KB
1_B_AEB-SPT_04-26.pdf
PDF • 755.9 KB
C_Self-declaration_Russland-Sanktionen_DE_VO 833-2014_08.25.pdf
PDF • 98.6 KB
C_Self-declaration_Sanctions on Russia_EN_VO 833-2014_08.25.pdf
PDF • 102.6 KB
C_Selfdeclaration (123-124 GWB).pdf
PDF • 498.0 KB
C_Verhandlungsbedarf DE_PR1153448.pdf
PDF • 69.0 KB
Aufforderung_zum_Teilnahmewettbewerb_Interessensbestaetigung.pdf
PDF • 74.7 KB
1_B_Anhang_FB326_RR_Materialien_eng.pdf
PDF • 290.9 KB
1_B_Anhang_TSS_FB325.005_EN.pdf
PDF • 1.4 MB
1_B_AwardConditions_IPMS-CNT05.1_PR1153448.pdf
PDF • 419.8 KB
1_B_CommercialTerms_IPMS-CNT05.1_PR1153448.pdf
PDF • 452.4 KB
1_B_Process two-step award procedure.pdf
PDF • 408.2 KB
1_B_Sustainabilitystandards_DE_06-2024.pdf
PDF • 239.4 KB
1_B_Sustainabilitystandards_ENG_06-2024.pdf
PDF • 272.9 KB
C_Export Classification Request Form.pdf
PDF • 210.9 KB
C_Need for Negotiation EN_PR1153448.pdf
PDF • 68.9 KB
Leistungsverzeichnis Service specifications IPMS-CNT05.1.pdf
PDF • 22.8 KB
1_TechnicalTenderSpecification_IPMS-CNT05.1_PR1153448_20260528.xlsx
XLSX • 216.4 KB
OCDS Standard Konform Technische Kapazität
- ISO 27001 ZertifizierungPFLICHT
Nachweis eines zertifizierten ISMS für den gesamten Projektzeitraum.
Nachweis erforderlich - Projektteam (Deutsch C1)PFLICHT
Sämtliche Kernmitglieder müssen Deutschkenntnisse auf C1-Niveau nachweisen.
Wirtschaftliche Eignung
- Referenzen (Öffentlicher Sektor)BEWERTET
Mindestens drei vergleichbare Projekte in Bundes- oder Landesbehörden in den letzten 5 Jahren.
Gewichtung: 40%