Process Monitoring Tool
Projektbeschreibung
Upgrade of the existing process monitoring system mesc21-11 (Nanofocus topography measurement system serial number 700259) located at Fraunhofer IPMS CNT An der Bartlake 5. Upgrade cosists of an automatic handling system for wafers in a seperately enclosed environment. The system is capable of handling wafers from a SEMI 300 mm FOUP to the existing measurement tool. The system is also able to introduce 200 mm Wafers into a suitable adapter enabling processing on standard 300 mm tools and handle the 200 mm wafers in adapter into a SEMI standard 300 mm FOUP.
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1 LosUpgrade of the existing process monitoring system mesc21-11 (Nanofocus topography measurement system serial number 700259) located at Fraunhofer IPMS CNT An der Bartlake 5. Upgrade cosists of an automatic handling system for wafers in a seperately enclosed environment. The system is capable of handling wafers from a SEMI 300 mm FOUP to the existing measurement tool. The system is also able to introduce 200 mm Wafers into a suitable adapter enabling processing on standard 300 mm tools and handle the 200 mm wafers in adapter into a SEMI standard 300 mm FOUP.
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Vergabeunterlagen
Bieterfragen 1.pdf
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Nachricht_vom__2025-11-21T075027.html
HTML • 1.2 KB
1_B_002_CommercialTerms_GerätesteckbriefNummer_PR1034394.pdf
PDF • 141.0 KB
20251016-LV_Technisches_Leistungsverzeichnis_Process_Monitoring_ProcessEfficiencyUpgrade (1).xlsx
XLSX • 336.6 KB
1_C_Self-declaration_Sanctions on Russia_VO 833-2014_08.25.pdf
PDF • 102.6 KB
1_C_Selfdeclaration (123-124 GWB).pdf
PDF • 498.0 KB
1_C_Export Classification Request Form.pdf
PDF • 210.9 KB
1_C_Eigenerklärung_Russland-Sanktionen_VO 833-2014_08.25.pdf
PDF • 98.6 KB
1_B_Sustainabilitystandards_ENG_06-2024.pdf
PDF • 272.9 KB
1_B_Sustainabilitystandards_DE_06-2024.pdf
PDF • 239.4 KB
1_B_BankbürgschaftBankguarantee.pdf
PDF • 196.2 KB
1_B_Antikorrup-AEB.pdf
PDF • 282.8 KB
1_B_001_AwardConditions_GerätesteckbriefNummer_PR1034394.pdf
PDF • 164.0 KB
LV_388394.pdf
PDF • 16.7 KB
OCDS Standard Konform Technische Kapazität
- ISO 27001 ZertifizierungPFLICHT
Nachweis eines zertifizierten ISMS für den gesamten Projektzeitraum.
Nachweis erforderlich - Projektteam (Deutsch C1)PFLICHT
Sämtliche Kernmitglieder müssen Deutschkenntnisse auf C1-Niveau nachweisen.
Wirtschaftliche Eignung
- Referenzen (Öffentlicher Sektor)BEWERTET
Mindestens drei vergleichbare Projekte in Bundes- oder Landesbehörden in den letzten 5 Jahren.
Gewichtung: 40%