Maskaligner 200mm - PR971169-2790-W
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Projektbeschreibung
Maskaligner 200mm
Lose
1 LosDer Maskaligner soll Siliciumwafer und Siliciumcarbidwafer bis 200mm mit UV-Licht-empfindlichen Fotolacken auf der Vorder- und Rückseite belichten bzw. bonden (prebonden) können. Die Wafergrößen sind 100mm, 150mm und 200mm, in Ausnahmefällen Bruchstücke und kleinere Substrate.
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Vergabeunterlagen
Noch keine Vergabeunterlagen verfügbar.
OCDS Standard Konform Technische Kapazität
- ISO 27001 ZertifizierungPFLICHT
Nachweis eines zertifizierten ISMS für den gesamten Projektzeitraum.
Nachweis erforderlich - Projektteam (Deutsch C1)PFLICHT
Sämtliche Kernmitglieder müssen Deutschkenntnisse auf C1-Niveau nachweisen.
Wirtschaftliche Eignung
- Referenzen (Öffentlicher Sektor)BEWERTET
Mindestens drei vergleichbare Projekte in Bundes- oder Landesbehörden in den letzten 5 Jahren.
Gewichtung: 40%