Ionenstrahl-Ätzanlage mit Restgasanalyse
Beschafft werden soll eine Ionenstrahl-Ätzanlage mit Restgasanalyse zur Endpunkt-Detektion, zum Ätzen von Festkörperproben bis zu einer definierten Tiefe bzw. zum Reinigen von Oberflächen auf einer Fläche mit einem Durchmesser von weniger als 50mm
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Noch keine Vergabeunterlagen verfügbar.
Nachweis eines zertifizierten ISMS für den gesamten Projektzeitraum.
Sämtliche Kernmitglieder müssen Deutschkenntnisse auf C1-Niveau nachweisen.
Mindestens drei vergleichbare Projekte in Bundes- oder Landesbehörden in den letzten 5 Jahren.