Projekt-ID: #200/52/25/1

Maskenloses Lithographiesystem

OFFEN
goods

Projektbeschreibung

Ausgeschrieben wird ein maskenloses Lithographiesystem, welches eine flexible Möglichkeit zur Mikrostrukturierung von verschiedenen Oberflächen bieten soll. Das ausgeschriebene System soll zukünftig das Kernstück der waferprozessierenden Infrastruktur an der Universität Paderborn darstellen.

Lose

1 Los

Ausgeschrieben wird die Herstellung, Lieferung und Inbetriebnahme eines Komplettsystems am Verwendungsort (Campus Universität Paderborn)

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