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Projekt-ID: #1332-2026

Dual Beam

OFFEN
goods
2.352.941 € Budget
24.04.26 Frist

Projektbeschreibung

Leistungsgenstand ist eine Feinstrahlimplantationsanlage zur deterministischen Implantation einzelner Atomen und Fehlstellen in Festkörpern zur Herstellung von Quantensystemen mit einer lateralen Auflösung von unter 5 nm in allen 3 Dimensionen.

Lose

1 Los

Siehe Leistungsverzeichnis

Vertragslaufzeit 30.09.2026 – 30.10.2026

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