Lieferung und Installation einer manuellen Abscheideanlage für Molecular-Layer-Deposition

Ausgeschrieben wird die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer Manuellen Molecular-Layer-Deposition Abscheideanlage (MLD-Anlage) zum flächigen Beschichten von Wafern mit Abmessungen von 200 mm Durchmesser und einer Dicke von 150 bis 750 µm. Das Grundgehäuse soll Elektronikkomponenten zur Steuerung und Sicherheit des Gerätes enthalten, insbesondere ist hierbei ein geeignetes Rückhaltesystem z.B. Kühlfalle oder Aktivkohlefilter zur Silanentfernung integriert. Das Gerät umfasst einen Vakuumofen, eine Plasmaquelle, ein Reagenzkabinett in welchem die Präkursor-Substanzen für die Beschichtungen eingelagert werden, Anschlüsse für Sauerstoff, und Argon oder Stickstoff sowie für eine Vakuumpumpe. Das Gerät besitzt eine Reaktionskammer, welche bis mindestens 180°C temperiert werden kann und in welcher Sauerstoffplasma unter verminderten Druck direkt vor der Silanisierungsreaktion erzeugt werden kann. Hierbei ist kein mechanischer Umbau der Anlage notwendig. Der Vakuumofen soll mit einer wiederverschließbaren Tür versehen sein. Als Sicherheitsvorkehrungen sind neben einer Kühlfalle oder einem Filter ebenfalls visuelle und akustische Warnanlagen sowie ein redundantes Temperaturüberwachungssystem verbaut. Das Gerät ist mit einer Luftabsaugung für die Pumpen ausgestattet und geeignet ohne dass weitere Sicherheitsvorkehrungen im Reinraum oder Graubereich betrieben werden müssen. Das Gerät ist mit 230 V kompatibel. Das Gerät ist insbesondere dafür geeignet dünne kovalente Sichten von 3-Aminopropyltriethoxysilan (APTES) aber auch (3-Glycidyloxypropyl)trimethoxysilan (GLYMO) auf den Targets zu immobilisieren. - Lokaler Server, einschließlich Hardware und Software Die Softwaresteuerung des Gerätes erfolgt über einen PC oder ein Echtzeit-Betriebssystem. Die Software und ggfs. der Rechner sind im Lieferumfang enthalten. - System Wagen, laminiert, mit feststellbaren Rollen - Lieferung und Installation der Anlage, inklusive Schulung - Trockenes Pumpensystem - Massendurchflussregler für Sauerstoff, und Argon oder Stickstoff - Montage der Kältemaschine - Ersatzteil-Kit