Lieferung Feuerofen

Das Institut für Solarenergieforschung GmbH (ISFH) möchte seinen Anlagenpark für die Herstellung von Siliziumsolarzellen für Single Junction und Tandemanwendungen erneuern und einen Feuerofen anschaffen, der Siliziumwafer mit einer Kantenlänge von bis zu 230 mm prozessieren kann. Der anzuschaffende Feuerofen soll einerseits ähnlich zu einer industriellen Massenproduktionsanlage z.B. in neuen TOPCon-Zellfabriken sein, um die Feuerofenprofile für aktuelle Siebdruckpasten abbilden zu können. Andererseits soll der Feuerofen möglichst flexibel einsetzbar sein ähnlich einer R&D Labor-Anlage. Das ISFH prozessiert Solarzellen typischerweise in Batchgrößen von 300 Wafern mit etwa 3 - 10 Batches pro Tag. Der Durchsatz der Anlage sollte mindestens 700 Wafer/h für G12 Waferformat betragen. Über Nacht und am Wochenende muss die Anlage in einen sicheren, verbrauchsarmen Standby-Modus überführt werden können.