Facet passivation and coating system (HHI-08) - PR1216551-3220-P
Projektbeschreibung
Facet passivation and coating system (HHI-08)
Lose
1 Los1 Facet passivation and coating syste Das ausgeschriebene System ist für die Abscheidung optischer Funktionsbeschichtungen auf optoelektronischen Halbleiterbauelementen vorgesehen, insbesondere für Antireflexbeschichtungen und die Facettenpassivierung von Hochleistungslasern. Bei Hochleistungslasern können Defekte an der Facettenoberfläche zu lokalen Hotspots und thermischen Schäden führen. Herkömmliche Sputterverfahren arbeiten mit vergleichsweise hohen Ionenenergien, was empfindliche Facettenoberflächen beeinträchtigen kann. Die plasmaunterstützte Abscheidung mittels Elektronenzyklotronresonanz (ECR) ermöglicht eine deutliche Reduzierung der Ionenprallenergie durch die Entkopplung der Plasmagenerierung von der Ionenbeschleunigung, was eine schonende und zuverlässige Beschichtung ermöglicht. Aus diesem Grund ist ein ECR-basiertes Beschichtungssystem für die vorliegende Anwendung zwingend erforderlich. Optionen Extended Warranty Spectral System Measurement range Accuracy - thin films 5-20 nm Accuracy - medium thickness 20-200 nm Optical constants Flip mechanism Cooling water
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Vergabeunterlagen
Fragebogen zur Eignungspruefung.pdf
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1_B_Bankguarantee Form.pdf
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1_B_Process two-step award procedure.pdf
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1_B_Sustainabilitystandards_DE_06-2024.pdf
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B_001_AwardConditions_HHI-08_PR1216551.pdf
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B_002_CommercialTerms_HHI-08_PR1216551.pdf
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Invitation to bid (EU wide tender).pdf
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Aufforderung zur Angebotsabgabe EU.pdf
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Aufforderung_zum_Teilnahmewettbewerb_Interessensbestaetigung.pdf
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Leistungsverzeichnis Service specifications V 1.6.2.pdf
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EUCA-APECS-HHI-08_TechnicalTenderSpecification_PR1216551.xlsx
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C_Export Classification Request Form.pdf
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C_Need for Negotiation EN_PRxxx.pdf
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C_Self-declaration_Russland-Sanktionen_DE_VO 833-2014_08.25.pdf
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C_Self-declaration_Sanctions on Russia_EN_VO 833-2014_08.25.pdf
PDF • 102.6 KB
C_Selfdeclaration (123-124 GWB).pdf
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C_Verhandlungsbedarf DE_PRxxx.pdf
PDF • 69.0 KB
OCDS Standard Konform Technische Kapazität
- ISO 27001 ZertifizierungPFLICHT
Nachweis eines zertifizierten ISMS für den gesamten Projektzeitraum.
Nachweis erforderlich - Projektteam (Deutsch C1)PFLICHT
Sämtliche Kernmitglieder müssen Deutschkenntnisse auf C1-Niveau nachweisen.
Wirtschaftliche Eignung
- Referenzen (Öffentlicher Sektor)BEWERTET
Mindestens drei vergleichbare Projekte in Bundes- oder Landesbehörden in den letzten 5 Jahren.
Gewichtung: 40%