XYZ Phi stage for wafers up to 12 inches (IMS-06.1) & 6-Axis Hexapods + Controllers (IMS-06.2) - PR1046956-2380-P
Projektbeschreibung
XYZ Phi stage für Wafers bis 12 Zoll (IMS-06.1) & 6-Axis Hexapods + Controllers (IMS-06.2)
Lose
1 Los1 Stück - XYZ Phi stage für Wafers bis 12 Zoll (IMS-06.1) 4 Stück - 6-Achsen Hexapods + Controllers (IMS-06.2) Semi-automatisches Test-Setup für advanced R&D Anwendungen Option 1 (LV Pos. 2.5): Netzwerk-Interface RS-232 und USB Option 2 (LV Pos. 5.3): Netzwerk-Interface RS-232 und USB Option 3 (LV Pos. 12.3): Netzwerk-Interface RS-232 und USB Option 4 (LV Pos. 14.1): Vibrationsisolierende Plattform/Tisch mit Möglichkeit, mindestens zwei 6D-Positionierungsstages sowie eine Rotationsstage mit XYZ-Positionskontrolle für 300-mm-Wafer gleichzeitig zu montieren.
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Vergabeunterlagen
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OCDS Standard Konform Technische Kapazität
- ISO 27001 ZertifizierungPFLICHT
Nachweis eines zertifizierten ISMS für den gesamten Projektzeitraum.
Nachweis erforderlich - Projektteam (Deutsch C1)PFLICHT
Sämtliche Kernmitglieder müssen Deutschkenntnisse auf C1-Niveau nachweisen.
Wirtschaftliche Eignung
- Referenzen (Öffentlicher Sektor)BEWERTET
Mindestens drei vergleichbare Projekte in Bundes- oder Landesbehörden in den letzten 5 Jahren.
Gewichtung: 40%