Projekt-ID: #EU-OV/2026-91

maskenloses UV-Direktlithographie-System

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Projektbeschreibung

Beschafft werden soll ein kompaktes, für den Reinraumeinsatz geeignetes Tischsystem zur maskenlo-sen UV-Direktlithographie für Forschung, Entwicklung und Kleinserien-Prototyping. Das System muss sowohl eine rasterbasierte Vollflächenbelichtung als auch einen zusätzlichen vektorbasierten Direkt-belichtungsmodus bereitstellen, um hochauflösende Mikro- und Nanostrukturen, Ausbesserungen bestehender Strukturen sowie konturtreue Linienbelichtungen auf unterschiedlichsten Substraten zu ermöglichen. Daraus ergeben sich folgende Mindestanforderungen: siehe Anlage 2

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Vergabeunterlagen

Anlage 1 - Allgemeine Rahmenbedingungen.pdf

PDF • 270.6 KB

Anlage 2 - Leistungsverzeichnis.pdf

PDF • 249.4 KB

Anlage 3 - ZVB.pdf

PDF • 227.1 KB

Anlage 4.1 - Bietererklärung.pdf

PDF • 15.3 KB

Anlage 4.2 - Eigenerklärung zum Ausschreibungsverfahren.pdf

PDF • 106.7 KB

Anlage 5 - Eigenerklärung zu _ 123 GWB.pdf

PDF • 509.6 KB

Anlage 6 - Eigenerklärung zu _ 124 GWB.pdf

PDF • 493.9 KB

Anlage 7 - Eigenerklaerung_staatliche_Auftraggeber.pdf

PDF • 1.3 MB

Anlage 8 - Fremdfirmenordnung Universität Jena.pdf

PDF • 2.3 MB

Aufforderungssschreiben.pdf

PDF • 227.0 KB

Erlaeuterungen zur Anlage 7.pdf

PDF • 161.9 KB

_Hinweise von der e-Vergabe.txt

TXT • 1.1 KB

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