Annealing Furnace (IAF-06.2) - PR1127753-2050-P
Projektbeschreibung
Annealing Furnace (IAF-06.2)
Lose
1 Los1 Stück Annealing Furnace Das Fraunhofer IAF plant die Anschaffung eines Hochtemperatur-Glühofens. Der Temperaturbereich für die thermische Bearbeitung soll von Raumtemperatur bis zu 1000 °C reichen. Das System soll in der Lage sein, 100- und 150-mm-Wafer zu bearbeiten. Die bei Atmosphärendruck verwendeten Prozessgase sind N2 und O2. Option 1: Contamination and particle prevention Option 2: Manual control of heating, cooling and mass flow controllers Option 3: Remote maintenance
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Vergabeunterlagen
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OCDS Standard Konform Technische Kapazität
- ISO 27001 ZertifizierungPFLICHT
Nachweis eines zertifizierten ISMS für den gesamten Projektzeitraum.
Nachweis erforderlich - Projektteam (Deutsch C1)PFLICHT
Sämtliche Kernmitglieder müssen Deutschkenntnisse auf C1-Niveau nachweisen.
Wirtschaftliche Eignung
- Referenzen (Öffentlicher Sektor)BEWERTET
Mindestens drei vergleichbare Projekte in Bundes- oder Landesbehörden in den letzten 5 Jahren.
Gewichtung: 40%