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Projekt-ID: #2026-1

Lieferung einer Elektronenstrahl-Lithografieanlage (E-Beam-System)

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17.06.26 Frist

Projektbeschreibung

Lieferung einer Elektronenstrahl-Lithografieanlage (E-Beam-System)

Lose

1 Los

Der Auftragnehmer liefert, installiert und übergibt dem Auftraggeber ein definiertes Elektronenstrahl-Lithografiesystem zur hochauflösenden Strukturierung von Mikro- und Nanostrukturen. Eine genaue Beschreibung ist dem Leistungsverzeichnis zu entnehmen.

Vertragslaufzeit 11.05.2026 – 20.12.2026

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