Projekt-ID: #2026/1301

IMS Chips - Vergabe einer Belackungs- und Entwicklungsanlage für Wafer

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Projektbeschreibung

Gegenstand des vorliegenden Vergabeverfahrens ist die Belackungs-/Entwicklungsanlage zur Prozessierung von 150mm und 200mm Wafern mit wechseln-den Fotolacken für die iLine- und E-Beam-Lithografie. Optional ist ein Vollwartungsvertrag mit Uptime-Garantie anzubieten. Die maximale Lieferzeit beträgt 18 Monate nach Zuschlag.

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Vergabeunterlagen

260427_IMS_Wafer_Anlage 3_DSGVO.pdf

PDF • 137.8 KB

260427_IMS_Wafer_Anlage 1_Teilnahmeformular.pdf

PDF • 238.4 KB

260427_IMS_Wafer_Anlage 2_Leistungsbeschreibung.pdf

PDF • 141.1 KB

260527_IMS_Wafer_Bewerbermemorandum.pdf

PDF • 173.5 KB

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